1983、1986、1994年分别在清华大学无线电电子学系、中国科学院电子学研究所、英国剑桥大学工程系电子工程专业获得学士、硕士和博士学位。1990年获得皇家学会Royal Fellowship，并两次（2001-2003年、2004-2007年）获得英国皇家学会国际合作项目； 1998年曾赴香港科技大学电机与电子工程系进行短期合作研究；获得美国加州大学伯克利分校2002－2004年度Berkeley Scholarship，多次赴伯克利传感器与执行器中心(BSAC)开展合作研究工作。
MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是微机电系统的缩写。MEMS是美国的叫法，在曰本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，目前MEMS加工技术又被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化
1.由于面向的人群比较小，我做成ISO文件，一是方便大家下载和观看，请不要解压 用虚拟光驱打开 这样可以帮助做资源，较长时间的保存这个资源.又可避免占据大量磁盘空间
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